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碳化硅陶瓷反應連接技術

文章出處:粉體圈網責任編輯:作者:小吉人氣:-發表時間:2022-08-22 17:23:00【

全封閉、中空部件的制備一般采用連接工藝獲得,目前常用的陶瓷連接方法主要有釬焊、擴散焊等,但這些方法均存在工藝復雜、焊接料性能同碳化硅基體差別大等缺點,難以滿足光刻機等集成電路制造裝備對復雜結構部件的使用要求。

根據反應燒結碳化硅的工藝特點,將待粘接零部件進行預處理,并通過粘接料對制品進行粘接,隨后再進行反應燒結,使制品的連接與反應燒結同步完成。通過調節粘接料的組分、控制連接工藝,可實現復雜結構部件的致密、高強度、無縫隙粘接。

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